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廣州潽拓光電科技有限公司--愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵維修維修；

在高真空抽氣過(guò)程的起始階段，泵的很大的未經(jīng)烘烤的內表面會(huì )吸附水，然后再在較低的壓力下重新釋放出來(lái)。這種效應在無(wú)閥門(mén)的系統中更為明顯，因為它可能比未暴露在壓力高于150Pa的空氣環(huán)境的有閥門(mén)的系統吸附更多的水蒸氣。系統停機時(shí)，先關(guān)閉高真空閥，如果有液氮冷阱的話(huà)，還要將冷阱加熱。在冷阱達到平衡溫度后，關(guān)掉前級管道閥，再切斷渦輪分子泵電動(dòng)機的電源，使分子泵的轉子減速。

一般來(lái)說(shuō)，泵轉子完全停止需要十分鐘或更長(cháng)的時(shí)間。在分子泵轉子減速期間，來(lái)自前級管道的碳氫化合物和渦輪分子泵的潤滑油蒸氣會(huì )迅速地向泵的進(jìn)氣口上方區域擴散。為了防止機械泵油蒸氣和渦輪分子泵潤滑油蒸氣的返流，在切斷渦輪分子泵電動(dòng)機的電源后，要用一股干燥的反向氣流對分子泵進(jìn)行放氣。

例如，應該在泵轉子速度下降到很大轉速的50%左右時(shí)，在泵進(jìn)氣口上方的某處或在轉子組件上部連續充入氣或氮氣，直到泵內壓力達到大氣壓。通過(guò)從閥門(mén)3（見(jiàn)圖1）充入氣體就可適當地完成這一操作。當渦輪分子泵以額定速度運轉時(shí)，不應經(jīng)常充入壓力為大氣壓的氣流。這樣做對軸的壽命是不利的。當前級管道閥關(guān)閉后，即可關(guān)掉機械泵系統，并用放氣閥對機械泵內進(jìn)行放氣。停機后應立即關(guān)掉冷卻水以防止內部冷凝。在正常工作時(shí)，可把水溫調節到略高于來(lái)消除泵體外部可能形成的冷凝物。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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分子泵的葉輪是高速旋轉的精密件，在分子泵運轉中，不允許固體雜物落到葉輪上,以避免損壞葉輪。也要防止大氣突然沖入正在運轉中的分子泵。因為這也有可能損壞葉輪，此外,分子泵運轉過(guò)程中,要遠離強磁場(chǎng)。結論改變氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵轉速，檢測信號值發(fā)生變化，儀器在運行時(shí)，分子泵轉速改變后，只要改變漏率信號的修正系數，無(wú)需再次定標，即可保證檢測漏率的準確性。

若儀器檢測信號時(shí)，信號值偏小，可以考慮降低儀器的分子泵轉速，來(lái)提高檢測信號值，提高儀器的檢測靈敏度。：渦輪分子泵應用于角分辨光電子能譜ARPES渦輪分子泵應用于角分辨光電子能譜ARPES。角分辨光電子能譜Angleresolvedphotoemissipectroscopy簡(jiǎn)稱(chēng)ARPES利用光電效應研究固體的電子結構.

光電子在真空飛行的過(guò)程中,被一個(gè)接受角度很小的能量分析器收集計數.角分辨光電子能譜主要由光源,電子分析器,樣品控制臺以及超高真空的獲得和維護系統組成.分子泵廣泛配套在真空系統已保證超高真空的獲得,同時(shí)搭配殘余氣體分析儀PrismaPlus共同使用.

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噪音測試通過(guò)在以下12種不同運行狀態(tài)和方向下對一批泵進(jìn)行一系列測試，來(lái)驗證泵噪音：垂直、水平和翻轉位置；高溫和低溫；全速和低速。在正常運行狀態(tài)下，168次測量得到的平均噪音為41dB(A)+/-3σ。包裝測試通過(guò)對帶包裝的泵進(jìn)行測試來(lái)驗證包裝性能，在測試時(shí)，使帶包裝的泵從96厘米/37.8英寸的高度以各種角度跌落18次。確保在運輸過(guò)程中不會(huì )因跌落或運輸而損壞。

無(wú)論從科技或是經(jīng)濟發(fā)展的角度來(lái)看，重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大數據、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的發(fā)展源源不斷地給半導體行業(yè)注入嶄新活力。真空技術(shù)作為一門(mén)與應用科學(xué)緊密結合的現代基礎科學(xué)，在半導體行業(yè)有著(zhù)廣泛的應用。其中，分子泵作為很多半導體制造設備的零部件之一，廣泛應用于IC生產(chǎn)制造的各個(gè)工藝。

下面小編就帶您走進(jìn)半導體產(chǎn)業(yè)鏈，并一起探索分子泵在半導體行業(yè)的應用。半導體產(chǎn)業(yè)鏈包括上游的半導體支撐產(chǎn)業(yè)，中游的半導體制造產(chǎn)業(yè)以及下游的半導體應用產(chǎn)業(yè)。半導體支撐產(chǎn)業(yè)包括半導體材料及設備，其中真空產(chǎn)品主要在半導體設備領(lǐng)域應用；中游半導體制造的是集成電路制造，包括IC設計、IC制造以及IC封測；下游的半導體應用領(lǐng)域眾多，半導體應用領(lǐng)域的行業(yè)是通信及智能手機、PC/平板、工業(yè)/。

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